Á¦1Àå Ç¥¸éÀÇ ÈÇÐ •11 ¿¬½À ¹®Á¦ •15 Á¦2Àå ÈíÂø °úÁ¤ •17 2.1 ÈíÂø °úÁ¤: Ç¥¸é¿¡ÀÇ ºÐÀÚ ÀÔ»ç •17 2.2 ºÎÂø È®·ü°ú ÈíÂø ¼Óµµ·Ð •22 ¿¬½À ¹®Á¦ •26 Á¦3Àå Ç¥¸éÀÇ ±¸Á¶ •27 3.1 ÀÌ»óÇ¥¸éÀÇ ±¸Á¶ •27 3.2 ÀÌÂ÷¿ø °ÝÀÚÀÇ ¸í¸í¹ý •31 3.3 Ç¥¸éÀÇ ±¸Á¶ ¿ÏÈ •33 3.4 Ç¥¸é À籸¼º •35 ❯Panel Ç¥¸é ÀüÀÚ È¸Àý •38 ¿¬½À ¹®Á¦ •42 Á¦4Àå Ç¥¸éÀÇ ÀüÀÚ »óÅ •45 4.1 ¿øÀÚ¡¤ºÐÀÚ ±Ëµµ¿Í ¹êµå •45 4.2 ÀÚÀ¯ ÀüÀÚ¿Í ¹êµå •51 4.3 ±Ý¼Ó, Àý¿¬Ã¼, ¹ÝµµÃ¼ •55 4.4 Ç¥¸éÀÇ ÀüÀÚ »óÅ ¹Ðµµ •56 4.5 Ç¥¸é »óÅ •59 4.6 ÀÏÇÔ¼ö •59 ❯Panel ±¤ÀüÀÚ ºÐ±¤¹ý •65 ❯Panel Ç¥¸é ºÐ¼®°ú Propst ´ÙÀ̾î±×·¥ •69 ¿¬½À ¹®Á¦ •72 Á¦5Àå ÀüÀڷаú ÈíÂø ¸ðµ¨ •75 5.1 ¹°¸®ÈíÂø •75 5.2 ÈÇÐÈíÂø •78 ❯Panel X¼± Èí¼ö ºÐ±¤¹ý°ú X¼± ¹ß±¤ ºÐ±¤¹ý •83 ¿¬½À ¹®Á¦ •87 Á¦6Àå Ç¥¸é µ¿¿ªÇÐ •89 6.1 Ç¥¸é Áøµ¿ •89 6.1.1 Á¶È Áøµ¿°ú °¨¼è Áøµ¿ÀÇ º¹½À •89 6.1.2 ÀÌ¿øÀÚ ºÐÀÚÀÇ Áøµ¿ •93 6.1.3 ÈíÂø ¿øÀÚ¡¤ºÐÀÚÀÇ Áøµ¿ ¸ðµå •94 6.1.4 Á¡±º¿¡ µû¸¥ ÈíÂø ºÐÀÚÀÇ Áøµ¿ ¸ðµå ºÐ·ù •95 6.1.5 Ç¥¸é Áøµ¿ ºÐ±¤¹ý •97 6.1.6 ÈíÂø ºÐÀÚÀÇ Áøµ¿ ¿£Æ®·ÎÇÇ •98 ❯Panel ÀüÀÚ ¿¡³ÊÁö ¼Õ½Ç ºÐ±¤¹ý •101 ❯Panel Àû¿Ü¼± ¹Ý»ç Èí¼ö ºÐ±¤¹ý •105 6.2 Ç¥¸é È®»ê •108 6.2.1 È°¼ºÈ ¿¡³ÊÁö¿Í È®»ê À̵¿µµ •108 6.2.2 °úµµÀû Ç¥¸é È®»ê •111 6.2.3 Ç¥¸é È®»êÀ» °üÃøÇÏ´Â ½ÇÇè ±â¹ý •111 ❯Topics ¿øÀÚ Á¶ÀÛ •112 6.3 ºÐÀÚÀÇ ¹ÝÀÀ •115 6.4 ºÐÀÚÀÇ Å»Âø •118 ❯Panel ¿Å»Âø Áú·® ºÐ¼® •127 6.5 Ç¥¸é ¿©±â °úÁ¤ •129 6.5.1 ½ÃÀÛÇÏ¸ç •129 6.5.2 Ç¥¸éÀÇ °¡ÀüÀÚ¿©±â °úÁ¤°ú ÆÛÅÙ¼È ¿¡³ÊÁö •130 6.5.3 ³»°¢¿©±â¿Í ±×¿¡ µû¸¥ Ç¥¸é ¿øÀÚ¡¤ºÐÀÚÀÇ µ¿Àû °úÁ¤ •133 6.5.4 Ç¥¸é ±¤¹ÝÀÀ°ú ±¤Å»Âø •135 6.5.5 Åͳθµ ÀüÀÚ À¯µµ °úÁ¤ •137 6.5.6 Ãæµ¹ À¯µµ Ç¥¸é °úÁ¤ •138 6.6 Ç¥¸é¿¡¼ÀÇ ¹Ú¸· ¼ºÀå •139 6.6.1 ¹Ú¸·ÀÇ ¼ºÀå¾ç½Ä •139 6.6.2 Ç¥¸éÀå·Â°ú ¡®Á¥À½¡¯ÀÇ Çö»ó·Ð •141 6.6.3 ¹Ú¸· ¼ºÀåÀÇ °üÂû°ú ¹Ú¸· Á¦ÀÛ •141 ❯Panel Auger ÀüÀÚ ºÐ±¤¹ý •143 ¿¬½À ¹®Á¦ •146 Á¦7Àå Ç¥¸é ¹ÝÀÀ •147 7.1 ȸÇÕ ¹ÝÀÀ: Ç¥¸é¿¡¼ ÈÇÐ °áÇÕÀÇ Çü¼º •147 7.1.1 ȸÇÕ ¹ÝÀÀÀÇ ¸ÞÄ¿´ÏÁò •147 7.1.2 ȸÇÕ ¹ÝÀÀÀÇ ¼Óµµ·Ð •148 7.2 Çظ®: Ç¥¸é¿¡¼ °áÇÕÀÇ Àý´Ü •152 7.2.1 Çظ® ¸ÞÄ¿´ÏÁò •152 7.2.2 Çظ® µ¿¿ªÇÐ •154 7.2.3 Çظ® ÀÚ¸® •155 7.2.4 Çظ®ÈíÂøÀÇ ¼Óµµ·Ð •156 7.3 ÈíÂø-Å»Âø ÆòÇü •159 7.3.1 Langmuir ÈíÂøµî¿Â½Ä •159 7.3.2 ÈíÂø ÆòÇü »ó¼ö¿Í ÈíÂø¿ •161 7.3.3 Çظ®ÈíÂø¿¡¼ÀÇ ÈíÂø-Å»Âø ÆòÇü •164 7.3.4 °æÀïÈíÂø •165 7.4 ºÎÂø È®·üÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ÈíÂø ¼Óµµ½Ä •166 7.5 Ç¥¸é ÈÇÕ¹° •168 7.5.1 ÈÇÐÈíÂø¿°ú »êȹ°ÀÇ Ç¥ÁØ »ý¼º¿ •168 ❯Topics ¿ÀÁ¸ Ȧ°ú Ç¥¸éÈÇÐ •170 ❯Panel BET ÈíÂø½Ä •173 ¿¬½À ¹®Á¦ •175 Á¦8Àå °íü Ã˸Š¹ÝÀÀ •177 8.1 °íü Ã˸Š¹ÝÀÀÀÇ °³³ä •177 ❯Topics ¿¬·á ÀüÁö •182 8.2 °íü Ã˸Š¹ÝÀÀÀÇ ¼Óµµ·Ð •184 8.2.1 ȸÇÕ ¹ÝÀÀÀÌ ¼Óµµ °áÁ¤ ´Ü°èÀÎ °æ¿ì •186 8.2.2 ÈíÂøÀÌ ¼Óµµ °áÁ¤ ´Ü°èÀÎ °æ¿ì •191 ❯Topics ¹è±â°¡½º Á¤È Ã˸Š•193 8.3 °íü Ã˸Š¹ÝÀÀÀÇ ¸ÞÄ¿´ÏÁò • 194 8.3.1 COÀÇ »êÈ • 194 8.3.2 ¸Þź¿Ã ÇÕ¼º • 198 8.4 Ã˸Š¹ÝÀÀÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·ÎÅ°³×ƽ½º • 200 8.5 Ç¥¸é ±¸Á¶ ÀÇÁ¸¼º • 201 8.6 ±¤Ã˸Š• 202 8.6.1 ¹ÝµµÃ¼ ±¤Ã˸Š• 203 ❯ Panel °í¾Ð Ã˸Š¹ÝÀÀ±â ºÎÂø Áø°øÀåÄ¡ • 205 ❯ Panel X¼± Èí¼ö ¹Ì¼¼±¸Á¶(XAFS) • 208 ¿¬½À ¹®Á¦ • 210 Á¦9Àå ±Ý¼Ó Ç¥¸éÀÇ ÈÇÐ • 211 9.1 ±Ý¼ÓÀÇ ÀϹÝÀûÀÎ ¼ºÁú • 211 9.2 ±Ý¼Ó Ç¥¸éÀÇ ¹ÝÀÀ¼º°ú d-¹êµå Á᫐ • 213 9.3 ±Ý¼Ó Ç¥¸éÀÇ ¿ÏÈ • 215 ❯ Panel Á¦1¿ø¸® °è»ê • 217 9.4 ÈíÂøÀ¸·Î À¯µµµÇ´Â Ç¥¸é À籸¼º • 218 9.5 Ç¥¸é ÀüÀÚ¿¡ ÀÇÇÑ Á¤»óÆÄ • 219 9.6 Ç¥¸é È®»ê • 220 9.7 ´ÜÀÏ ºÐÀÚÀÇ Áøµ¿ ºÐ±¤¹ý • 221 9.8 Metal-on-Metal Epitaxy • 222 9.9 ±Ý¼Ó Ç¥¸éÀÇ ¹° ºÐÀÚ • 224 9.10 ¶ß°Å¿î ¿øÀÚ • 227 ❯ Panel ÁÖ»ç Åͳθµ Çö¹Ì°æ • 227 ¿¬½À ¹®Á¦ • 231 Á¦10Àå ¹ÝµµÃ¼ Ç¥¸éÀÇ ÈÇÐ • 233 10.1 ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ ¿ª»ç¿Í Ç¥¸é¡¤°è¸é ¿¬±¸ • 233 10.2 ¹ÝµµÃ¼ÀÇ °áÁ¤ ±¸Á¶ • 234 10.3 ¹ÝµµÃ¼ Ç¥¸éÀÇ ±¸Á¶¿Í ÀüÀÚ »óÅ • 235 10.4 Si(100) Ç¥¸éÀÇ ¹°¼º • 240 10.5 Si(100) Ç¥¸é¿¡¼ÀÇ ÈÇÐ ¹ÝÀÀ • 241 10.5.1 Si(100) Ç¥¸é¿¡¼ÀÇ Lewis »ê-¿°±â ¹ÝÀÀ • 243 10.5.2 Si(100) Ç¥¸é¿¡ÀÇ °í¸®È ÷°¡ ¹ÝÀÀ • 245 10.6 Si(111)(7¡¿7) Ç¥¸é¿¡¼ÀÇ ÈÇÐ ¹ÝÀÀ • 248 10.7 ½Ç¸®ÄÜ Ç¥¸éÀÇ »êÈ ¹ÝÀÀ°ú °è¸é »óÅ • 250 ¿¬½À ¹®Á¦ • 251 Á¦11Àå »êȹ° Ç¥¸éÀÇ ÈÇÐ • 253 11.1 »êȹ°ÀÇ Ç¥¸é °áÇÔ • 253 11.2 ¹ÝÀÀ Áß¿¡ º¯¸ðÇÏ´Â Ã˸Šǥ¸éÀÇ In-situ °üÂû • 256 11.3 ½Ç¿Â¿¡¼µµ ¿òÁ÷ÀÌ´Â »êȹ° Ç¥¸éÀÇ °ÝÀÚ»ê¼Ò • 257 11.4 »êȹ° Ç¥¸é°úÀÇ »óÈ£ÀÛ¿ë¿¡ µû¸¥ ´ãÁö ±Ý¼Ó ¿øÀÚÀÇ ÀüÀÚ »óÅ º¯È • 259 11.5 Au¸¦ »êȹ°¿¡ ´ãÁöÇÏ¿© ¹ßÇöµÇ´Â Ã˸ŠÀÛ¿ë • 261 ❯ Topics ¿ì¸® ÁÖº¯ÀÇ Ä£¼÷ÇÑ ±¤ÃË¸Åµé • 264 11.6 ±Ý¼Ó ¹Ì¸³ÀÚ/»êȹ° °è¸é¿¡¼ÀÇ »ê¼Ò ÈíÀå°ú ±× ¹ÝÀÀ¼º • 266 11.7 ¾Ð·Â Â÷ÀÌ¿¡ ±âÀÎÇÏ´Â Ã˸ŠȰ¼ºÀÇ º¯È • 269 ❯ Panel ¿øÀÚÈû Çö¹Ì°æ • 271 ¿¬½À ¹®Á¦ • 275 Á¦12Àå Ç¥¸éÀÇ ÈÇÐ ¼³°è ¹× ±â´É • 277 12.1 ÀÚ±âÁ¶Á÷È • 277 12.2 CNTÀÇ ÀüÀÚ »óÅÂ¿Í Ç¥¸éÈÇÐ • 281 12.3 ÇÕ±ÝÈ¿Í Ã˸ŠÀÛ¿ë • 282 12.4 È°¼º ±¸Á¶ÀÇ ¼³°è¿Í Ã˸ŠÀÛ¿ë • 285 12.4.1 ½ÃÀÛÇÏ¸ç • 285 12.4.2 Ç¥¸éÀÇ ºÐÀÚ ¼öÁØ ÈÇÐ ¼³°è¹ý • 285 12.4.3 Ç¥¸é È°¼º ±¸Á¶ÀÇ Æ¯¼º °Ë»ç¹ý • 286 12.4.4 ¼³°è Ç¥¸éÀÇ Ã˸Š¹ÝÀÀ • 287
¿¬½À ¹®Á¦ • 294 ã¾Æº¸±â • 295
|